一、技術(shù)背景與現(xiàn)狀概述

目前，針對(duì)揮發(fā)性污染物的分析主要采用氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用技術(shù)（簡(jiǎn)稱“氣質(zhì)分析”）。該技術(shù)雖能提供準(zhǔn)確的分析結(jié)果，但存在明顯局限：現(xiàn)場(chǎng)采樣需用蘇瑪罐，耗時(shí)幾分鐘到幾十分鐘，樣品送至實(shí)驗(yàn)室后，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)的分析至少需要30分鐘以上；實(shí)驗(yàn)后蘇瑪罐需清洗，否則可能導(dǎo)致結(jié)果偏差；靈敏度僅能覆蓋ppb-ppm級(jí)別，無法直接檢測(cè)更低濃度的污染物，需依賴額外樣品處理手段。這些問題凸顯出氣質(zhì)分析流程冗長(zhǎng)、環(huán)節(jié)繁瑣、分析速度慢、靈敏度不足等缺點(diǎn)，難以滿足車間空氣等場(chǎng)景的快速檢測(cè)需求。

為此，一種快速、準(zhǔn)確、操作簡(jiǎn)便且靈敏度更高的分析技術(shù)——分子離子反應(yīng)質(zhì)譜（IMR-MS）應(yīng)運(yùn)而生。作為近十年發(fā)展成熟的質(zhì)譜新分支，IMR-MS能夠快速檢測(cè)小分子有機(jī)殘留物（VOCs），具有測(cè)試簡(jiǎn)便、實(shí)時(shí)性強(qiáng)、成本低、耗時(shí)短等優(yōu)勢(shì)，在快速檢測(cè)和趨勢(shì)評(píng)估方面，較實(shí)驗(yàn)室氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀及車載移動(dòng)測(cè)試技術(shù)更具競(jìng)爭(zhēng)力。

近年來，隨著經(jīng)濟(jì)快速發(fā)展及疫情后經(jīng)濟(jì)復(fù)蘇，環(huán)境問題日益突出，分子離子反應(yīng)質(zhì)譜技術(shù)逐漸受到生產(chǎn)廠家和用戶的廣泛關(guān)注，相關(guān)技術(shù)與產(chǎn)品不斷改進(jìn)并日趨成熟。其中，韓國(guó)Young In Ace公司開發(fā)的ACE 1100 IMR-MS分子離子反應(yīng)質(zhì)譜儀，經(jīng)環(huán)境領(lǐng)域大量應(yīng)用驗(yàn)證，展現(xiàn)出毫秒級(jí)實(shí)時(shí)檢測(cè)、pptv級(jí)高靈敏度及極低維護(hù)成本等特點(diǎn)，對(duì)提高半導(dǎo)體產(chǎn)品良品率、降低生產(chǎn)成本具有顯著幫助。

二、分子離子反應(yīng)質(zhì)譜儀的技術(shù)特點(diǎn)和指標(biāo)

1. 實(shí)時(shí)性突出：作為實(shí)時(shí)質(zhì)譜儀，分析頻率可達(dá)每毫秒1次，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)技術(shù)。

2. 離子源性能優(yōu)異：用于分析的離子源不受樣品離子純度或體積影響，保持高分析性能。

3. 分離與選擇精準(zhǔn)：采用雙質(zhì)量四極桿過濾器和反應(yīng)室，實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的離子選擇。

4. 定量方式：通過化學(xué)分離結(jié)合的定量曲線（MTF）實(shí)現(xiàn)定量分析，無需標(biāo)準(zhǔn)樣品。

5. 高靈敏度覆蓋：可使用3種正試劑離子和5種負(fù)試劑離子，實(shí)現(xiàn)亞pptv水平的定量/定性分析。

6. 分析范圍廣泛：可分析同位素、異構(gòu)體、揮發(fā)性有機(jī)化合物、部分無機(jī)物及鹵素化合物。

7. 樣品處理簡(jiǎn)化：無需任何樣品制備過程，可直接分析含水氣體樣品。

三、與氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用技術(shù)（GC-MS）的對(duì)比

EI源和化學(xué)原的質(zhì)譜圖對(duì)比

更少量的樣品更好的信噪比

2pg、100 fg六氟苯，全掃描，選擇離子 m/z 283.8

四、應(yīng)用領(lǐng)域

（一）半導(dǎo)體制造行業(yè)

主要用于生產(chǎn)車間小分子化學(xué)殘留物監(jiān)測(cè)和工廠周邊環(huán)境監(jiān)測(cè)。在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，空氣中分子污染物（AMCs）的早期檢測(cè)對(duì)產(chǎn)品良品率至關(guān)重要，常見的AMCs包括：

- 分子酸（MA）- 分子堿（MB）- 可凝分子（MC）- 分子摻雜劑（MD）

（二）新能源行業(yè)

應(yīng)用于氫燃料電池的氫氣及雜質(zhì)連續(xù)在線檢測(cè)，保障電池性能與安全性。

（三）醫(yī)療行業(yè)

通過呼吸氣體檢測(cè)，快速識(shí)別微生物，用于糖尿病、腎臟疾病及呼吸系統(tǒng)疾病等高風(fēng)險(xiǎn)人群的篩查。

（四）汽車行業(yè)

- 發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油消耗連續(xù)在線快速檢測(cè)

- 發(fā)動(dòng)機(jī)排放動(dòng)態(tài)測(cè)試（尤其符合國(guó)VI規(guī)范）

（五）環(huán)境行業(yè)

- 環(huán)境VOC溯源

- 道路機(jī)動(dòng)車排放對(duì)環(huán)境的影響評(píng)價(jià)

- 水質(zhì)分析

- 室內(nèi)空氣質(zhì)量評(píng)價(jià)

（六）食品煙草行業(yè)

- 飲料用CO?氣體雜質(zhì)檢測(cè)- 煙草氣體分析- 香料開發(fā)和氣味評(píng)價(jià)

五、可檢測(cè)的VOC化合物列表